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                                發表多功能晶圓量測機

                                編輯:管理員   瀏覽:  日期:2018-03-03

                                測量重點:

                                1澳发彩票、高速/無接觸光學量測

                                2、奈米深度3D檢測

                                3、表面形貌/粗糙度分析

                                4、非透明材質/透明材質形貌分析

                                5、1μm透明膜厚度量測

                                6、多層膜厚度量測

                                7、非透明樣本總厚度量測

                                解決方案與優點:

                                1、操作流程簡易,降低教育訓練成本

                                2澳发彩票、人工放置待測物,機臺自動化跑位、量測與報表輸出

                                3、多孔陶瓷吸盤完整吸附待測物

                                4澳发彩票、花崗巖底座搭配汽浮式防震桌澳发彩票澳发彩票,有效隔離高頻振動澳发彩票,將機身振動影像降至最低

                                5、高精度移動馬達

                                6澳发彩票、針對無塵室環境設計的防塵外罩

                                7、連線管理SECS/GEM(選配)

                                有效解決半導體業的相關測量問題

                                 

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